Korean Institute of Surface Engineering

pISSN : 1225-8024 | eISSN : 3399-8403

공학

한국표면공학회지 (31권6호 407-416)

The ozone depletion and the alternative cleaning in the cleaning process

세정공정에서의 오존층에서의 오증촌파괴와 대체세정

김학동;전병완;

동양물산기업(주) 중앙기술연구소 재료연구실;국방과학연구소 연구계획실;

Abstract

Keywords