한국표면공학회지 (30권3호 213-217)
The characteristics and adhesion strength of TiN multilayer deposited by D.C. magenetron sputtering
D.C. 마그네트론 스파터림법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
김선규;유정광;이건환;권식철;
울산대학교 공과대학 재료공학·금속공학과;대우전자 제2연구소;한국기계연구원 박막연구소;
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